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超高真空系统

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超高真空系统
发布日期:2015-9-12 点击次数:1352
超高真空系统
 

(1) 涡轮分子泵+机械泵组成的真空系统。如图4所示,机械泵8将涡轮分子泵5抽到10Pa左右时,分子泵便可以正常工作,用热偶规2及超高真空规3分别测量系统的低真空和超高真空。此系统不需烘烤便可达到10-6Pa的超高真空,烘烤后可达10-9Pa

                          

4 超高真空系统(用涡轮分子泵作主泵)

                       

5 用钛升华泵作主泵的高真空系统

(2) 在扩散泵前串接液氮冷阱,获得超高真空的系统(1x10-7Pa)。见图2只需将5换为两个液氮冷阱即可。

(3) 用钛升华泵(或低温泵)串以扩散泵或分子泵的超高真空系统。如图5所示,这里扩散泵的作用是为钛升华(或低温泵)提供预置真空。当使用钛升华泵时,可达到10-7Pa的真空度。若使用低温泵,则可达到10-9-10-10Pa的极高真空。

(4) 无油超高真空系统。前面几种真空系统由于都使用了机械泵和扩散泵,因此这些系统都难免油蒸气的污染,不能满足某些较高要求的超高真空系统。图6为用溅射离子泵作主泵,两个分子筛吸附泵1112做预轴泵。热偶真空计用以测量低真空,超高真空规26用以测量超高真空。两个吸附泵其中之一用来抽走真空室1和溅射离子泵7的大气压下的气体;另一个用来抽走烘烤及起动离子泵时放出来的气体。

 

6 无油超高真空系统

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