CONTACT US

联系我们

地  址:河南省郑州市高新区长椿路11号
电  话:0371-67739007,86620398-607
邮  箱:zzrbsy@126.com
查看更多联系方式

高真空系统

您的当前位置:主页 > 产品展示 > 高真空系统 >
高真空系统
发布日期:2015-9-12 点击次数:1542
高真空系统
 

真空度在10-3-10-5Pa,一般用机械泵串联扩散泵进行抽气。用热偶计测量低真空,普通电离计测量高真空。图2示出了真空镀膜机真空系统(金属系统)。

真空室1下装有扩散泵6,扩散泵入口装有水冷障板5,用以减少扩散泵返流油蒸气。在真空室上装有电离真空计2及放气阀4。真空阀3是用以通断真空室1与扩散泵6的气路。机械泵12带有电磁阀11,前面装有水冷障板10。热偶真空规9用以监视前置真空。阀门7称为粗抽阀,在扩散泵与真空室连通前,先将真空抽到一定的前级真空(1Pa左右),然后关闭阀门7,再打开前级阀8,用机械泵为扩散泵提供前级真空。随后打开真空3,用扩散泵将真空室抽至高真空。 

            

2 高真空金属系统

当完成一个工作周期需要更换样品时,应先关阀门3,通过放气阀4给真空室1放大气,再打开真空室取出样品,放入另一批样品,关闭真空腔室1,关闭放气阀,打开粗抽阀7,再进行第二周期工作。

当工作完毕需要关机时,关闭阀门,关扩散泵电源,等10分钟后再关前级阀8、关机械泵。最后关所有冷却水。使扩散泵保持真空状态,以免油的氧化,下次工作真空度能很快达到。

上一条: 没有了
下一条: 没有了