CONTACT US

联系我们

地  址:河南省郑州市高新区长椿路11号
电  话:0371-67739007,86620398-607
邮  箱:zzrbsy@126.com
查看更多联系方式

高真空腔体的制造

您的当前位置:主页 > 产品展示 > 高真空腔体的制造 >
高真空腔体的制造
发布日期:2015-9-12 点击次数:2028
高真空腔体的制造
 

真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中,是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品,如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井,这些构成一个完整的真空腔体。

   复杂的真空腔体通常需要定制,即针对应用终端进行专门的设计和制作。某些常见的真空腔体已经过预先设计,真空设备包含很多组件,如真空腔体,真空密封传导件,视口设置,真空传感器,真空显示表,沉积系统,蒸发源和蒸发材料,溅镀靶材,等离子刻蚀设备,离子注入设备,真空炉,专用真空泵,法兰,阀门和管件等。真空设备常用于脱气,焊接,制备薄膜涂层,生产半导体/晶圆、光学器件以及特殊材料等。

真空腔体可以按照真空度进行分类,包括粗或低真空度(> 1 torr),中真空度(>10-3 torr),高真空度(>10-8 torr),超高真空度(<10-8 torr),根据不同的真空度要求,其结构、焊接方法和表面处理都有所不同。真空腔的宽度和外径等常规尺寸是非常重要的参数。真空腔体或者真空组件的可选项包括法兰、装配形式、表面抛光或电解抛光、开口或传导口,加热器和冷却方式等。常用高真空和超高真空腔体用材料,如 304304 L316316 L316 LN410416,无氧铜,钛,铝,钼,钼合金等。焊接采用氩弧焊为主,焊缝平滑光洁。真空腔体的制造不同于压力容器,其制造要求和复杂程度远高于压力容器。
上一条: 高真空腔体的制造
下一条: 高真空腔体的制造